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新型器件

  新型器件与材料实验室在研发中心主要定位于后摩尔定律和超越摩尔定律下的各种新型器件和新材料新工艺前沿技术研发,验证其可制造性和可应用性,将与国内外先进研究机构紧密合作。现阶段主要研究FinFET和硅纳米线晶体管等主流新器件技术,以及将来有可能成为主流技术的Beyond CMOS新型器件技术,如各类自旋电子器件、TFET等,同时关注各种新型存储器技术,如STT-MRAM、RRAM、PCRAM、SFGT等。另外,在超越摩尔定律方面,重点开展以微电子工艺与纳米新材料相结合的纳米传感器技术研发,以及纳米传感器应用平台技术研发和纳米传感器系统集成技术研发。以产品应用为目标导向,开发一系列纳米新型传感器技术,如纳米生物传感器(酶传感器、免疫传感器、基因传感器等)、纳米分子传感器(各类气体分子传感器)、纳米NEMS传感器(振荡器、压力传感器等)、纳米光电传感器(光子检测、光调制器、图像传感器等)等新兴传感器所需的工艺和集成技术。